FIB/SEM
Zeiss Auriga Crossbeam
Sowohl für Standard-Rasterelektronenmikroskopie (SEM) wie auch für fokussierte Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskopie (FIB/SEM) nutzen wir eine Zeiss Auriga 40 Crossbeam Workstation. Je nach Probenart und Untersuchungstechnik lassen sich damit Proben bis zu 1000 nm Dicke untersuchen.
Ausstattung
- Kalter Feldemitter
- Beschleunigungsspannung: max. 30 kV
- SE-Detektor
- BSE-Detektor
- InLens-Detektor
- EsB-Detektor
- 2 Bruker EDX-Detektoren
- Gallium-Emitter
- Gasinjektionssystem (GIS), u.a. zur Platin- und Koohlenstoffabscheidung
- diverse Probenteller, z.B. 9-fach Probenhalter, FIB/SEM-Probenhalter
Anwendungen
- Standard SEM Untersuchungen, z.B. Mikroorganismen, Pflanzenpollen, sonstiges Pflanzenmaterial, anorganische Materialien
- FIB/SEM-Tomographie von eingebetteten Proben